台積電晶圓12A廠廠長黃遠國：「台積公司除了致力於創新製程的研發外，也秉持安全零
事故、成為世界標竿的安全衛生企業的信念，建構本質安全的工作環境。」為了兼顧工廠
生產不中斷及人員的工作安全，晶圓12A廠與承攬商交流合作，透過強化管路材質及改善
配管手法，成功打造零洩漏的安全廠房，實踐和外界攜手，共同降低職場安全衛生風險的
理想。

第31屆全國團結圈競賽金塔獎、台積電「FAB12A廠神龍圈」全體圈員。 中衛/提...
第31屆全國團結圈競賽金塔獎、台積電「FAB12A廠神龍圈」全體圈員。 中衛/提供

隨著工廠的廠齡升高，管路老化洩漏的風險也可能跟著提高。過去做法為發現管路腐蝕再
排程更換，然而這種方式除了影響製程，更造成人員暴露風險。本次專案主題「老舊管路
回春計畫」透過分析特殊製程溫度與作業環境監測結果，找出影響管路使用年限的真因，
再利用基礎科學原理，創新發想出管路材質強化及配管手法精進的方法，在不影響製程的
情況下改善管路洩漏問題。針對特殊製程區域，台積公司首創應用不沾鍋PFA材質進行防
護強化，將原有廢氣管路內層鍍膜提升為3.5mm內襯，除了改善鍍膜厚度不均問題，較過
去更增加20倍的防護層厚度，大幅增加管路耐用年限約60%。

此外，團隊透過觀察管路製作與安裝流程，研究並討論出最佳管路安裝手法，即「避開管
路二次加工的摺邊弱點」，透過改善管路安裝方向的細節，就可以完全避免廢氣管路接點
腐蝕風險。除了材質與安裝手法的強化外，本次專案更進一步研擬強化管路洩漏早期偵測
的預防方法，全面改善舊廠區可能面臨的管路老化問題。

晶圓12A廠與廠商合作，優化配管手法及品質，不僅維持製程穩定，也提供員工安全的工
作環境。台積公司除了透過承攬商溝通平台分享上述改善經驗予廠商，也敦促廠商將配管
改善手法帶進半導體同業，實踐台積公司追求業界共好的理念。